ghi line波長在PTT/mobile01評價與討論，在ptt社群跟網路上大家這樣說

ghi line波長在6 Photolithography

波長 (wavelength)及數字孔徑(numerical aperture)的 ... Spectrum of the Mercury Lamp. G-line. I-line. G line. (436). H-line. I line. (365) ty (a.u). H line.

ghi line波長在微影照像

-12m），光源. 的唯一選擇是雷射。 表1.1 各種微影技術之比較. 波長 λnm. △λ/λ. %. 最小線寬. Rmin，nm. 聚焦景深. （DOF），nm. 備註. G-line.

ghi line波長在光阻劑- 維基百科，自由的百科全書

光阻劑通常使用在紫外光波段或更小的波長(小於400奈米)進行曝光。 ... 一種常與水銀燈產生的I, G and H-lines一起使用，由重氮萘醌(DNQ)與酚醛樹脂所混合的正光阻。

ghi line波長在微影製程 - 國立高雄科技大學第一校區

>Deep UV: 150-300 nm. >Near UV: 350-500 nm. ▫ 汞燈(Hg)光源. >G-line 波長436 nm（常用於學校）. >I-line 波長365 nm（常用於0.35微米的IC製程中） ...

ghi line波長在黃光微影製程技術

350nm ~ 450 nm Hg-Arc G-line(436 nm) , I-line (365nm) ... 若光阻與光罩的間距10µm，入射光的波長 ... 一般光學雕像術解析度受限於光本身波長所產生的繞.

ghi line波長在IC光阻市場及技術發展趨勢

微影製程中，由於單色光比泛波長. (Broad Band)較能得到好的光學解析，最. 早被拿來作為單色光曝光源者為g-line. (436nm)及i-line(365nm) ，它們的實用解. 析為0.8微米及 ...

ghi line波長在半導體用光阻劑之發展概況

東京應化工業不僅製造436nm波長膜厚1um到7um用g-line乾膜光阻、365nm波長膜厚0.3um到7um用i-line乾膜光阻劑，並與SEMATECH和其他領導業者合作，以供應 ...

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ghi line波長在Ch 6: Lithography

波長. (nm). 所應用的. 圖形尺寸. (μm). G-line. 436. 0.50. 水銀燈. H-line. 405. I-line ... 降低波長. ▫ 需開發新光源，光阻及設備. ▫ 降低波長的限制.